Tyhjiöhaihdutus: Periaate on kalvomateriaalin kuumentaminen höyrystimellä tyhjiöolosuhteissa sen höyrystämiseksi tai sublimoimiseksi, ja sitten haihtunut hiukkasvirta ammutaan suoraan substraattia kohti, jossa se kerrostetaan kiinteän kalvon muodostamiseksi. Haihdutus jaetaan myös elektronisuihkuhaihdutukseen, vastushaihdutukseen, induktiohaihdutukseen jne.
Ionipinnoitus: Ionipinnoituksella tarkoitetaan yleensä pinnoitusmenetelmää, joka tuottaa suuren määrän ioneja pinnoitusprosessin aikana. Kalvonmuodostusprosessin aikana substraattia pommitetaan jatkuvasti suurien{1}}energisilla hiukkasilla, mikä johtaa erittäin vahvaan kalvokerrokseen, jolla on erinomainen lujuus ja tarttuvuus. Kun ionipinnoitusta käytetään erittäin-tarkkojen kalvojen luomiseen, suuret ionihiukkaset voidaan suodattaa pois, mikä johtaa erittäin rakenteelliseen ja tiheään kalvoon.
Nämä kolme ovat yleisimmät tyhjiöpäällystyslaitteiden pinnoitusteknologiat jokapäiväisessä elämässä. Valinta riippuu siitä, mikä kalvokerros pinnoitetaan ja mikä työkappale pinnoitetaan.
