Vaikka ionilähteitä on monenlaisia, niiden tarkoitus on olennaisesti sama: online-puhdistus, energian jakautumisen parantaminen pinnoitetulle pinnalle ja reagoivan kaasun energian modulointi. Ionilähteet voivat parantaa merkittävästi kalvon ja alustan välistä sidoslujuutta ja samalla parantaa kalvon kovuutta sekä kulumis- ja korroosionkestävyyttä. Työkalujen kulumista kestävillä-kerroksilla, jotka ovat yleensä paksumpia ja jotka eivät vaadi suurta tasaisuutta kalvon paksuudelta, voidaan käyttää ionilähteitä, joilla on korkeampi ionivirta ja energiataso, kuten Hall-ionilähteitä tai anolyytti-ionilähteitä.
Anodiset ionilähteet toimivat samalla periaatteella kuin Hall-ionilähteet. Kapean rengasmaisen (suorakaiteen tai pyöreän) raon sisään kohdistetaan voimakas magneettikenttä, joka ionisoi työkaasun anodin vaikutuksesta ja suuntaa sen työkappaletta kohti. Anodisista ionilähteistä voidaan tehdä erittäin suuria ja pitkiä, mikä tekee niistä erityisen sopivia suurten työkappaleiden, kuten rakennuslasien, pinnoittamiseen. Ne tarjoavat myös suhteellisen suuren ionivirran. Niiden ionivirta on kuitenkin hajanaisempi ja energiatason jakautuminen liian laaja. Ne soveltuvat yleensä suurille työkappaleille, lasille, hankaaville pinnoille ja koristekomponenteille. Niiden käyttö edistyneissä optisissa pinnoitteissa ei kuitenkaan ole laajalle levinnyt.
Vaikka ionilähteitä on monenlaisia, niiden tarkoitus on olennaisesti sama: online-puhdistus, energian jakautumisen parantaminen pinnoitetulle pinnalle ja reagoivan kaasun energian modulointi. Ionilähteet voivat parantaa merkittävästi kalvon ja alustan välistä sidoslujuutta ja samalla parantaa kalvon kovuutta sekä kulumis- ja korroosionkestävyyttä. Työkalujen kulumista kestävillä-kerroksilla, jotka ovat yleensä paksumpia ja jotka eivät vaadi suurta tasaisuutta kalvon paksuudelta, voidaan käyttää ionilähteitä, joilla on korkeampi ionivirta ja energiataso, kuten Hall-ionilähteitä tai anolyytti-ionilähteitä.
Anodiset ionilähteet toimivat samalla periaatteella kuin Hall-ionilähteet. Kapean rengasmaisen (suorakaiteen tai pyöreän) raon sisään kohdistetaan voimakas magneettikenttä, joka ionisoi työkaasun anodin vaikutuksesta ja suuntaa sen työkappaletta kohti. Anodisista ionilähteistä voidaan tehdä erittäin suuria ja pitkiä, mikä tekee niistä erityisen sopivia suurten työkappaleiden, kuten rakennuslasien, pinnoittamiseen. Ne tarjoavat myös suhteellisen suuren ionivirran. Niiden ionivirta on kuitenkin hajanaisempi ja energiatason jakautuminen liian laaja. Ne soveltuvat yleensä suurille työkappaleille, lasille, hankaaville pinnoille ja koristekomponenteille. Niiden käyttö edistyneissä optisissa pinnoitteissa ei kuitenkaan ole laajalle levinnyt.
Hall-ionilähde atyhjiöpäällystyskoneionisoi prosessikaasun voimakkaan aksiaalisen magneettikentän alaisena. Tämän aksiaalisen magneettikentän voimakas epätasapaino erottaa kaasu-ionit ja muodostaa ionisäteen. Aksiaalisen magneettikentän voimakkuuden vuoksi Hall-ionilähteen ionisäde tarvitsee lisäelektroneja ionivirran neutraloimiseksi. Yleinen neutralointilähde on volframifilamentti (katodi).
