Tiivistyskyky on keskeinen näkökohta tyhjiöpäällystyslaitteistoa suunniteltaessa, sillä sen laatu vaikuttaa suoraan siihen, voidaanko päällystämiseen vaadittava alipainetaso saavuttaa myöhemmässä imurointiprosessissa. Jos tätä vaatimusta ei täyty, se vaikuttaa suoraan kalvon muodostumiseen ja laatuun. Tyhjiöpäällystyslaitteiden tai -järjestelmien hyvän tiivistyskyvyn varmistamiseksi ei suinkaan riitä vain paikantaa ja estää vuodot asennuksen jälkeen. Tyhjiövuotojen havaitseminen on välttämätöntä tyhjiöpinnoituslaitteiston tai -järjestelmän suunnittelun, valmistuksen, käyttöönoton ja käytön kaikissa vaiheissa.
SuunnittelunäkökohdatTyhjiöpinnoituskone
1. Määritä tyhjiölaitteiston suurin sallittu vuotonopeus prosessivaatimusten perusteella ja määritä sitten kunkin komponentin suurin sallittu vuotonopeus tämän kokonaisvuotonopeuden perusteella.
2. Määritä laitteiston suurimman sallitun vuotonopeuden ja muiden mittareiden perusteella alustavasti suunnitteluvaiheessa käytettävät vuotojen havaitsemismenetelmät ja käytä tätä yhtenä käyttöönottoa ja hyväksyntää ohjaavana perusperiaatteena.
3. Selvitä laitteen tai komponenttien suurimman sallitun vuotonopeuden osoittimien perusteella laitteen tiivistys- ja liitäntätavat ja kokonaistyöstön tarkkuus sekä mikä dynaaminen tiivistystyyppi voi täyttää vaatimukset. Esimerkiksi, käytetäänkö laippoihin metallitiivisteitä vai kumitiivisteitä.
4. Säiliön rakenteellista lujuutta suunniteltaessa on otettava huomioon testattavalta komponentilta vaadittava paineenkestävyys ja rakenteellinen lujuus, jos käytetään painevuodon havaitsemismenetelmää.
5. Kun valitset komponenttien rakennemateriaaleja, harkitse, käytetäänkö materiaaleja, jotka voivat ruostua ja vaurioitua työväliaineesta ja vuototestikaasusta.
6. Rakennesuunnittelun aikana säiliössä tai järjestelmässä tulee olla tarvittavat varaliitännät vuodonilmaisuinstrumenteille laitteiden asennuksen ja käyttöönoton aikana. Erityisesti suurissa ja monimutkaisissa putkistojärjestelmissä tarvitaan usein segmentoituja vuotojen havaitsemismenetelmiä; siksi putkilinjaan tulee asentaa segmentoidut eristysventtiilit ja vuodonilmaisulaitteiden liitännät tulee varata jokaiselle eristyssegmentille.
7. Vältä rakenneosia suunnitellessa suunnittelusuunnitelmia, jotka voivat häiritä vuotojen havaitsemista. Esimerkiksi tyhjiökammion ruuvinreikissä ei pidä käyttää sokeaa reikiä, koska ruuvin asennuksen jälkeen ruuvin reiän sisällä jäljellä oleva kaasu pääsee poistumaan vain kierreraon kautta muodostaen väärän vuodon. Tämä pidentää järjestelmän evakuointiaikaa ja häiritsee normaalia vuotojen havaitsemista. Katso kaaviosta rakenteet, joiden ei pitäisi näkyä tyhjiövuodon havaitsemisessa.
8. Samoin jatkuvat kaksipuoliset hitsit ja monikerroksiset tiivisterengasrakenteet eivät ole sallittuja rakennesuunnittelussa, koska ne muodostavat "loistilavuuden" keskelle, mikä aiheuttaa sisällä olevan kaasun vuotamisen. Lisäksi, kun sekä sisä- että ulompi hitsi tai tiivisterenkaat vuotavat samanaikaisesti, "parasiittitilavuus" tekee vuotavan kaasun vasteajan kaksikerroksisen hitsin läpi liian pitkäksi, mikä tekee normaalista vuodon havaitsemisesta mahdotonta.
9. Hitsattujen rakenteiden suunnittelussa minimoi niiden hitsien määrä, joiden vuotoja ei voida havaita lopullisen asennuksen jälkeen.
Yllä olevat kohdat ovat varotoimia tyhjiöpinnoituslaitteiden vuotojen havaitsemiseksi. Tiivistyskyvyn laatu määrää suoraan, voidaanko laitteisto hyväksyä ja täyttääkö sen laatu standardit.
