Tärkeimmät syyt hitaan tarkkuusuuttoon atyhjiöpäällystyskonelöytyy seuraavista näkökohdista:
1. Diffuusiopumppu saattaa olla riittämätön.
Ratkaisu: Liitä ionisaatiomittari diffuusiopumpun tuloaukkoon tarkkailemaan pumpun kapasiteettia. Noudata pumppausaikaa ja sen rajoja ja vertaa sitten tuloksia.
2. Imujärjestelmässä on pieni vuoto.
Ratkaisu: Tämä edellyttää huolellista vuotojen havaitsemista, jotta voidaan tarkistaa, täyttääkö tyhjiön pitoaika vaaditun standardin.
3. Kotelo on liian likainen; likainen kotelo johtaa suuremman ilman vapautumiseen.
Ratkaisu: Puhdista kotelo.
4. Riittämätön taustatyhjiö; mekaanisen pumpun tai mekaanisen pumpun ja Roots-pumpun lopullinen tyhjiö on riittämätön.
Ratkaisu: Tarkista taustaputket erikseen vastusmittarilla.
Hidas paine jopa kuormittamattomana-: johtuu usein vuodoista, pumpun toimintahäiriöstä tai putkiston tukkeutumisesta.
Normaali ei{0}}kuormituspaine, mutta hidas paine kuormituksen jälkeen: Yleensä johtuu työkappaleen/työkalun tuuletuksesta tai raaka-aineen kosteudesta.
Toistuvat paineenvaihtelut: Tyypillinen vuotokohta.
Hidas paineen lasku, mutta ei saavuta standardia: Usein johtuen suuresta{0}}alueen tuuletuksesta tai kylmälukon tukkeutumisesta.
Hidasta pumppua-kuormittamattomana → Tarkista vuodot, vaihda tyhjiöpumpun öljy, puhdista kylmäluukku ja suodattimet.
Hidasta pumppausta-työkuormalla → Kuivaa työkappaleet, pidennä esi-pumppausaikaa, paistolaitteet/jigit.
Vaihteleva paine → Paikanna vuotokohdat, korjaa tyhjiöventtiilit.
Hidasta tasaista pumppua-(ei paineen vaihtelua) → Poista tukokset, suorita täysi kammiopaisto-kaasunpoistoa varten.
Päivittäinen ehkäisy ja säännöllinen huolto (toistumisen estämiseksi)
Päivittäin: Tarkista pumpun öljytaso, jäähdytysvesi ja ilmanlähteen paine; puhdista pöly oven tiivisteiden pinnasta.
Viikoittain: Puhdista pääsuodatin, tarkkaile kylmälukkoa jäätymisen varalta ja sulata tarvittaessa.
Kuukausittain: Satunnainen takaiskuventtiilin toiminta ja putkiston tiivistys; suorittaa työkalujen kaasunpoisto ja paistaminen.
Neljännesvuosittain/puolivuosittain{0}}vuosittain: Vaihda tyhjiöpumpun öljy koko yksikköön; suorita kylmälukon, välilevyjen ja putkistojen syvä purkaminen ja puhdistus.
Vakiokäyttömenettelyt: Varmista, että työkappaleet ovat täysin kuivia; minimoi kosteuden{0}}kuormitettujen tai haihtuvien materiaalien pääsy kammioon; Vältä oven avaamista, ellei se ole ehdottoman välttämätöntä.
