Magnetronin ruiskutuspäällystyskone

Tyhjiökammion sisällä magneettikenttää käytetään rajoittamaan hehkupurkaus, jolloin argon-ionit pommittavat kohdemateriaalia suurilla nopeuksilla. Kohdeatomit sputteroidaan ja kerrostuvat työkappaleen pinnalle muodostaen tiheän ohuen kalvon -prosessi luokitellaan fysikaaliseksi höyrypinnoitukseksi (PVD).

Laitteen ominaisuudet

Yhteensopiva erityyppisten ruiskutuskohteiden kanssa
Tukee DC-, MF- ja RF-magnetronin sputterointikohteita, mahtuu sekä metalli- että oksidikeraamiset kohteet, mikä mahdollistaa sekä metallisten että eristäviä dielektrisiä kalvoja.

Substraatin kääntö- ja kiertomekanismi
Työkappaleteline hyödyntää planeettakiertojärjestelmää, joka mahdollistaa uunin sisällä olevien työkappaleiden pyörimisen ja pyörimisen samanaikaisesti, mikä varmistaa erinomaisen kalvon paksuuden tasaisuuden koko uunikuorman ajan ja minimoi värivaihtelut.

Matala-lämpötilan ioni-esikäsittelyjärjestelmä
Sisäänrakennetulla-ionipuhdistuslähteellä varustettu järjestelmä pommittaa työkappaleen pinnan plasmalla ennen pinnoittamista öljyn epäpuhtauksien ja oksidikerrosten poistamiseksi. Se mahdollistaa alhaisen-lämpötilan kalvon levittämisen minimaalisella alustan lämmityksellä, mikä tekee siitä sopivan lämpö-herkkien muovien, kuten ABS:n ja PC:n, käsittelyyn aiheuttamatta palamista tai muodonmuutoksia.

Itsenäinen tyhjiöyksikön kokoonpano
Turbomolekyylipumpun, Roots-pumpun ja pyörivän siipipumpun yhdistelmä, joka varmistaa vakaan pumppauskäyrän.

Täysautomaattinen PLC teollisuusohjausjärjestelmä
Prosessiautomaatio, prosessireseptit voidaan tallentaa ja palauttaa yhdellä napsautuksella.

Tarkka kaasuvirtauksen ohjaus
Käyttää useita massavirtaussäätimiä (MFC) säätelemään tarkasti reaktiivisia kaasuja, kuten argonia, happea ja typpeä, mikä tekee siitä sopivan oksidi- ja nitridikomposiittikalvojen reaktiiviseen sputterointiin.

Turvalukitussuojaus
Sisältää kammion oven ja tyhjiöjärjestelmän lukitukset sekä suojat ylikuormitusta, vesipulaa ja sähkökatkoksia vastaan, automaattisen sammutuksen havaitessaan poikkeavuuksia kohdelähteen ja alipainejärjestelmän suojaamiseksi.

Koristeellinen pinnoite
Kellokotelot, kylpyhuonetarvikkeet, golfmailojen päät, käsityöt, lelut, autojen ajovalojen heijastimet sekä matkapuhelinten tai kodinkoneiden kotelot ja painikkeet. Pystyy valmistamaan jäljitelmiä kultaa, gunmetal blackia, ultra-mustia ja värillisiä koristepinnoitteita, ja se toimii ympäristöystävällisenä, saasteeton-vaihtoehtona perinteiselle vesi-elektroinnille.

Yhteensopivat alustat: ABS-muovi, lasi, keramiikka, laatat ja erilaiset metallit.

 

Toiminnalliset elokuvat
Muotit ja työkalut: kulumista{0}}kestävät suojapinnoitteet leikkaustyökaluille ja muoteille/muotille

Kalvon paksuus on säädettävissä ja toistettavissa.

Se voi luotettavasti kerrostaa ennalta määrätyn paksuisen kalvon, ja sputterointipinnoite voi saada tasaisen kalvon paksuuden suurelle pinnalle.

Kalvolla on vahva tarttuvuus alustaan.

Jotkut korkean{0}}energiset sputteroidut atomit tuottavat eriasteisia ruiskutusasteita ja muodostavat substraatille pseudo-diffuusiokerroksen, jossa sputteroidut atomit ja substraattiatomit sulautuvat toisiinsa.

Ohutkalvojen valmistus erikoismateriaaleista.

Sekakalvoja ja yhdistelmäkalvoja voidaan valmistaa sputteroimalla eri materiaaleja samanaikaisesti. TiN-jäljitelmäkultakalvoja voidaan myös sputteroida.

Kalvolla on korkea puhtaus, eikä sputteroitu kalvo sekoitu upokkaan lämmitinmateriaalin komponenttien kanssa.

Matalan{0}}lämpötilan ioni-apulähteellä varustettuna se voi muodostaa kalvoja kylmäpinnoituksella huoneenlämpötilassa ilman lämmitystä, mikä säästää energiaa ja sähköä ja parantaa tuotantokapasiteettia.